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第一章三氟化氮產(chǎn)品概述
1.1電子特種氣體——三氟化氮概述
1.2三氟化氮的產(chǎn)業(yè)與市場簡述
1.2.1三氟化氮的應(yīng)用領(lǐng)域
1.2.2三氟化氮的市場簡況
1.2.3三氟化氮的產(chǎn)業(yè)簡況
1.3三氟化氮行業(yè)的特點(diǎn)
1.3.1行業(yè)興衰與半導(dǎo)體、光伏、液晶顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展有著關(guān)系密切
1.3.2三氟化氮產(chǎn)品優(yōu)勢得到發(fā)揮
1.3.3市場壟斷性強(qiáng)
1.3.4全球LCD產(chǎn)能加速向中國集中，利好三氟化氮市場
1.4在當(dāng)前環(huán)境保護(hù)要求的形勢變化下三氟化氮產(chǎn)品發(fā)展前景成為變數(shù)
1.4.1三氟化氮納入我國溫室氣體
1.4.2三氟化氮替代產(chǎn)品得到發(fā)展
第二章電子特種氣體、氟化工品應(yīng)用市場
2.1電子特種氣體概述
2.2電子特種氣體制造中的主要技術(shù)方面
2.3電子特種氣體的純凈度要求
2.4電子特種氣體產(chǎn)品市場競爭的焦點(diǎn)問題
2.4.1對電子特種氣體雜質(zhì)、純度要求的問題
2.4.2氣體配送及供應(yīng)問題
2.4.3儲存、使用中的安全性問題
2.4.4成本性問題
2.5國內(nèi)外電子特種氣體行業(yè)發(fā)展概述
2.5.1境外電子特種氣體生產(chǎn)與市場情況
2.5.2國內(nèi)電子特種氣體行業(yè)及其發(fā)展
2.6氟化工產(chǎn)業(yè)概述
2.6.1氟化工產(chǎn)業(yè)中的重要產(chǎn)品
2.6.2我國氟化工產(chǎn)業(yè)發(fā)展情況
第三章三氟化氮的主要特性
3.1物理特性
3.2毒性及危險(xiǎn)性
3.3反應(yīng)性
3.4相關(guān)的安全性
3.5主要性能及標(biāo)準(zhǔn)
3.5.1對純度的一般質(zhì)量指標(biāo)要求
3.5.2美國氣體及化學(xué)產(chǎn)品公司的NF3的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
3.5.3 SEMI的三氟化氮標(biāo)準(zhǔn)
3.5.4三氟化氮 我國國家標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 21287-2021）
第四章三氟化氮的主要生產(chǎn)工藝方法
4.1 NF3的制備方法
4.1.1概述
4.1.2直接化合法
4.1.3化學(xué)氟化
4.1.5電解法
4.2 NF3粗品純化工藝加工
4.2.1 NF3粗品純化工藝法的種類
4.2.2低溫精餾法
4.2.3化學(xué)吸收法
4.2.4化學(xué)轉(zhuǎn)化法
4.2.5選擇吸附法
4.3安全生產(chǎn)的問題
4.4在半導(dǎo)體晶元工廠的供應(yīng)系統(tǒng)
第五章三氟化氮的主要應(yīng)用領(lǐng)域概述
5.1概述
5.2三氟化氮在集成電路中的應(yīng)用
5.2.1集成電路芯片制程
5.2.2化學(xué)氣相沉積和氣體應(yīng)用
5.3作為清洗劑、刻蝕劑在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用
5.3.1替代PFC作為清洗劑
5.3.2等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）
5.3.3在PECVD的干刻蝕、清洗加工中的應(yīng)用
5.4高純NF3在薄膜硅太陽電池中的應(yīng)用
5.4.1非晶硅薄膜太陽能電池
5.4.2 SI薄膜的材料光學(xué)特性
5.4.3非晶硅薄膜太陽能電池制作工藝及高純硅烷其應(yīng)用
5.5用三氟化氮作氟化劑
5.5.1六氟化鎢的理化性質(zhì)及用途
5.5.2 NF3是制造WF6
5.5.3世界WF6的生產(chǎn)現(xiàn)況
5.5.4國內(nèi)生產(chǎn)WF6的情況
5.6三氟化氮作為氟源在化學(xué)激光器中應(yīng)用
5.7 NF3在IC和TFT-LCD應(yīng)用市場擴(kuò)展的三階段
5.8 NF3在不同應(yīng)用領(lǐng)域中應(yīng)用量的比例
第六章世界及我國NF3的半導(dǎo)體市場調(diào)查與分析
6.1世界半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)與市場發(fā)展
6.1.1世界半導(dǎo)體生產(chǎn)的現(xiàn)況
6.1.2世界半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)狀況
6.2我國半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)與市場現(xiàn)況與發(fā)展
6.2.1我國集成電路市場、產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀
6.2.2我國集成電路晶圓制造業(yè)情況
6.2.3我國集成電路晶圓主要生產(chǎn)廠家情況
第七章世界及我國NF3的液晶顯示器市場調(diào)查與分析
7.1世界平板顯示器產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)況
7.2我國平板顯示器產(chǎn)業(yè)現(xiàn)況與未來發(fā)展預(yù)測
7.2.1我國液晶顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展概述
7.2.2我國LCD面板生產(chǎn)現(xiàn)況與未來幾年發(fā)展預(yù)測
7.2.3我國發(fā)展平板顯示產(chǎn)業(yè)的相關(guān)政策及未來發(fā)展的預(yù)測、分析
第八章世界及我國NF3的薄膜硅太陽電池市場調(diào)查與分析
8.1國內(nèi)外光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展
8.1.1世界光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展
8.1.2我國光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境與現(xiàn)況
8.2薄膜太陽能電池的生產(chǎn)與市場
8.2.1薄膜太陽能電池特點(diǎn)及品種
8.2.2薄膜太陽能電池未來市場發(fā)展前景
8.2.3薄膜太陽能電池生產(chǎn)及在光伏市場上的份額變化
8.3國內(nèi)外薄膜太陽能電池的主要生產(chǎn)企業(yè)
8.3.1境外薄膜太陽能電池生產(chǎn)廠家概況
8.3.2國內(nèi)薄膜太陽能電池生產(chǎn)廠家概況
第九章世界NF3的生產(chǎn)現(xiàn)狀與發(fā)展
9.1概述
9.2世界三氟化氮生產(chǎn)現(xiàn)況
9.3美國的NF3生產(chǎn)現(xiàn)狀與廠家
9.3.1美國AP公司
9.3.2杜邦公司
9.4日本的NF3生產(chǎn)現(xiàn)狀與廠家
9.4.1關(guān)東電化工業(yè)公司
9.4.2三井化學(xué)公司
9.4.3中央玻璃公司
9.5韓國的NF3生產(chǎn)現(xiàn)狀與廠家
9.5.1韓國奧瑟亞
9.5.2韓國曉星
9.5.3 SK MATERIALS
9.6中國臺灣的NF3生產(chǎn)現(xiàn)狀與廠家
第十章我國國內(nèi)NF3的生產(chǎn)現(xiàn)狀與發(fā)展
10.1國內(nèi)NF3生產(chǎn)的發(fā)展
10.2國內(nèi)NF3生產(chǎn)需求市場
10.3國內(nèi)NF3的主要生產(chǎn)廠家
10.3.1國內(nèi)NF3的生產(chǎn)廠家概述
10.3.2南大光電
10.3.3昊華科技
10.3.4中國船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所
10.3.5其它廠家
10.4國內(nèi)與NF3氣體相關(guān)的科研、協(xié)會機(jī)構(gòu)
第十一章2024-2030年三氟化氮行業(yè)投資前景
11.1 2024-2030年三氟化氮市場發(fā)展前景
11.1.1 2024-2030年三氟化氮市場發(fā)展?jié)摿?BR>11.1.2 2024-2030年三氟化氮市場發(fā)展前景展望
11.1.3 2024-2030年三氟化氮細(xì)分行業(yè)發(fā)展前景分析
11.2 2024-2030年三氟化氮市場發(fā)展趨勢預(yù)測
11.2.1 2024-2030年三氟化氮行業(yè)發(fā)展趨勢
11.2.2 2024-2030年三氟化氮市場規(guī)模預(yù)測
11.2.3 2024-2030年三氟化氮行業(yè)應(yīng)用趨勢預(yù)測
11.2.4 2024-2030年細(xì)分市場發(fā)展趨勢預(yù)測
11.3 2024-2030年中國三氟化氮行業(yè)供需預(yù)測
11.3.1 2024-2030年中國三氟化氮行業(yè)供給預(yù)測
11.3.2 2024-2030年中國三氟化氮行業(yè)需求預(yù)測
11.3.3 2024-2030年中國三氟化氮供需平衡預(yù)測
11.4影響企業(yè)生產(chǎn)與經(jīng)營的關(guān)鍵趨勢
11.4.1市場整合成長趨勢
11.4.2需求變化趨勢及新的商業(yè)機(jī)遇預(yù)測
11.4.3企業(yè)區(qū)域市場拓展的趨勢
11.4.4科研開發(fā)趨勢及替代技術(shù)進(jìn)展
11.4.5影響企業(yè)銷售與服務(wù)方式的關(guān)鍵趨勢
第十二章2024-2030年三氟化氮行業(yè)投資機(jī)會與風(fēng)險(xiǎn)
12.1三氟化氮行業(yè)投融資情況
12.1.1行業(yè)資金渠道分析
12.1.2固定資產(chǎn)投資分析
12.1.3兼并重組情況分析
12.2 2024-2030年三氟化氮行業(yè)投資機(jī)會
12.2.1產(chǎn)業(yè)鏈投資機(jī)會
12.2.2細(xì)分市場投資機(jī)會
12.2.3重點(diǎn)區(qū)域投資機(jī)會
12.3 2024-2030年三氟化氮行業(yè)投資風(fēng)險(xiǎn)及防范
12.3.1政策風(fēng)險(xiǎn)及防范
12.3.2技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)及防范
12.3.3供求風(fēng)險(xiǎn)及防范
12.3.4宏觀經(jīng)濟(jì)波動風(fēng)險(xiǎn)及防范
12.3.5關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)風(fēng)險(xiǎn)及防范
12.3.6產(chǎn)品結(jié)構(gòu)風(fēng)險(xiǎn)及防范
12.3.7其他風(fēng)險(xiǎn)及防范
圖表目錄
圖表1：三氟化氮主要特征分析
圖表2：2019-2023年全球電子特種氣體行業(yè)市場規(guī)模情況
圖表3：2019-2023年中國電子特種氣體行業(yè)市場規(guī)模走勢
圖表4：氟化工分類
圖表5：2019-2023年中國氟化工行業(yè)每年新增企業(yè)數(shù)量變化情況
圖表6：2019-2023年中國氟化工行業(yè)市場規(guī)模走勢
圖表7：NF3在不同應(yīng)用領(lǐng)域中的應(yīng)用量比例
圖表8：2019-2023年我國三氟化氮行業(yè)供需平衡走勢圖
圖表9：2019-2023年中國三氟化氮行業(yè)市場需求情況
圖表10：2019-2023年中國三氟化氮行業(yè)市場均價(jià)走勢
圖表11：2024-2030年三氟化氮市場規(guī)模預(yù)測
圖表12：2024-2030年中國三氟化氮行業(yè)供給預(yù)測
圖表13：2024-2030年中國三氟化氮行業(yè)需求預(yù)測
圖表14：2024-2030年中國三氟化氮供需平衡預(yù)測

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中研智業(yè)研究院-聯(lián)系人：楊靜 李湘
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